Система маркировки QR-кодов для полупроводниковых пластин

Система использует лазер UV-диапазона мощностью 3 Вт с наносекундной импульсной длительностью. Короткая длина волны в ультрафиолетовом диапазоне позволяет проводить чистую маркировку с минимальным нагревом, а короткая длительность наносекундных импульсов позволяет удалять поверхность, не передавая тепловую энергию основному материалу. Этот механизм "холодной обработки" предотвращает образование микротрещин и термических изменений, что делает его безопасным для материалов, таких как карбид кремния (SiC), нитрид галлия (GaN) и сапфир.

Показатель выхода готовой продукции гарантируется интегрированной системой верификации "замкнутого цикла". После маркировки система машинного зрения делает снимок, декодирует его в режиме реального времени и сравнивает с заданными данными. Если обнаруживается расхождение, система помечает пластину и направляет ее в отдельный кассет, предотвращая дальнейшую обработку дефектных изделий и регистрируя ошибку для последующего анализа.

Система разработана для быстрой переналадки. Переключение включает в себя выбор новой программы в программном обеспечении, которая автоматически настраивает параметры обработки. Робот с двумя манипуляторами и двигателем DD поддерживает диапазон размеров от 2 до 12 дюймов без механических регулировок, что позволяет завершить смену размера за считанные минуты.

Система работает с полупроводниками (Si), композиционными полупроводниками (SiC, GaN, InP, GaSb) и специальными подложками (сапфир, стекло, LT). Она совместима с пластинами размером от 2 до 12 дюймов.

На систему предоставляется 12-месячная гарантия, а также круглосуточная техническая поддержка послепродажного обслуживания.